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micro-resonators相关论文
微谐振器中静电切向阻力的仿真分析
微谐振器在MEMS器件中广泛作为感知或致动单元,但其工作在静电场中的部分构件,因微小间隙常会产生静电切向阻力。通过简化硅微谐振器......
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微谐振器
静电阻力
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ANSYS
micro-resonators
electrostatic force
surface roughness
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